本文标题："高精度细微的零件/元件等测量工具显微镜"

高精度细微的零件/元件等测量工具显微镜

白光点光源搭配显微PFP量测系统对微小物件之研究。显微PFP量测系统采用非接触式表面形貌量测，
具有高精确度及对环境的适应高等优点。系统光源由超短脉冲雷射，经聚光透镜把激光束聚焦至光子晶体光纤里，
当超短脉冲雷射在光子晶体光纤里传导时，会进行数个非线性光学，
所以最后在光子晶体光纤的出口端会形成非常完美的白光点光源。此光源具有下列优点：

（1） 对投影系统而言，其景深可视为无限长。
（2） 不具有雷射光斑的缺点，不会影响到显微PFP系统量测的准确度。
由实验可得到，以白光点光源作为显微PFP量测系统之照明装置，比其他照明设备具有更大的纵深量测范围，
在相同操作条件底下，其增加的量测范围约为1.5倍其他光源(雷射与卤素光源)之范围。
未来的研究方向，将利用此系统致力于半导体元件、微机电装置与生医科技（如生物细胞）之形貌量测

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