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本文标题:"切割晶圆时不但能大幅度提高材料利用率-材料显微镜"

发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间:2013-2-13 5:57:10

细颗粒钻石 As-Grown/Fine Particle Diamond

细颗粒钻石以完美的晶型和达到微粉(53µm)以细粒度尺寸的特点,在超精密抛光和研磨领域发挥了不可替代的作用,
与传统微粉相比,在加工效率和稳定性大幅度提高的同时,能够最大限度的减少对工件表面的损伤,
大幅度提高加工质量。在切割晶圆时不但能大幅度提高材料利用率,而且能大幅度减少后序加工量。
 
◎ 产品特性
★粒度细: 
400目以细即38微米以细,目前联合的细颗粒产品粒度在230-800目,即18-63µm,≤1000目产品正在研发中。
★晶型好: 
以等积形、完整6-8面体为主,晶型对称规则,与普通微粉相比,能够提高切割效率,减小对工件的表面刮伤。
★杂质少、透明度好:
钻石内部包裏体及气泡杂质很少,透明度很好,具有很高的冲击韧性(Ti)和热冲击韧性(TTi),质量稳定可靠,能够满足电镀工艺对钻石的质量要求。
◎ 应用领域
★钻石砂轮: 
细颗粒钻石电镀砂轮和陶瓷砂轮在加工微晶玻璃、硬质合金刀具,复合超硬材料刀具和特种陶瓷等难加工材料时,具有更高的加工精度和加工效率,并且能够大幅度提高加工质量。
★替代圆形高品级微粉: 
与普通微粉磨圆料相比,晶型更圆更规则能够在减小对工件表面刮伤的同时,提高去除效率。
★用于合成高品级的PDC(聚晶钻石复合片): 
与针片状微粉相比,近乎球形的细颗粒钻石可以最大限度的提高微粉的堆积密度,使PDC中钻石的含量提高,同时提高PDC中钻石颗粒间的键合,合成出的PDC在耐磨性、抗冲击性能和耐热性能方面比传统微粉合成的PDC有大幅度的提高。
★晶体材料的切割:
用于单晶硅棒、多晶硅棒以及蓝宝石和碳化硅等各种晶体切割的电镀钻石切割微线,作为细颗粒钻石新的应用领域,近年来得到了快速发展和应用,与碳化硅和钻石微粉相比,能够提高切割面的平整度和尺寸精度,减少晶圆表面的微裂纹,在大幅度减少材料损耗的同时还能减少后序对表面抛光的加工量,使得晶体加工的成本大大降低

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