本文标题："多种方法观察分析氧化动力和形貌特征-综合实验显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-9-28 16:39:31
多种方法观察分析氧化动力和形貌特征-综合实验显微镜
x射线光电子能谱(XPS)通过用x射线轰击样品产生的光电子得到化
学方面的信息，光电子具有的能量与俄歇电子的相似，所以样品的检测
深度与AES相近。但是x射线很难进行微聚焦，所以空间分辨率低于AES
。XPS的优势在于光电子的能量是固体中电子结合能的函数，所以能给
出元素离子化状态方面的信息，即，是以基态还是以氧化物或氮化物的
形式存在等。
另一种有用的分析技术是二次离子质谱(SIMS)，用离子束溅射样品
表面，并用质谱仪分析溅射出来的离子。SIMS能对表面非常薄的膜进行
精确的化学分析，随着溅射的进行，可得到样品的浓度一深度变化曲线
。
以上方法的应用是氧化研究的非常重要的组成部分，现在这方面的
专题会议经常定期举行。这里要强调指出，氧化机理研究就是恰当应用
上述多种方法观察分析氧化动力学和形貌特征，然后将结果加以综合。
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