本文标题："材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-9-28 9:39:8
材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分
表面分析技术
在很多情况下，我们感兴趣的是材料表面非常薄的氧化膜，例如合
金表面最先形成的氧化物的成分，一组具有高度表面灵敏性的技术可用
来进行这方面的检测，Grabke等人对这些技术在氧化行为分析方面的应
用做了非常好的评述。
应用最广泛的是俄歇电子谱(AES)，由于俄歇电子的激发是电子能
级之间转变的结果，因此它们的能量具有元素特征，除H和He之外的所
有元素都能被检测
浅的地方逸出，所以具有表面灵敏性。俄歇谱可用标准值和发表过
的校正因子进行定量，。因此与扫描电子形貌对应的X射线图类似，如
果用人射光束扫过样品表面，就能作出成分分布图。现代仪器中入射电
子束能聚焦到使横向空间分辨率达到约50 nm。
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