本文标题："小透镜、微形模具及其它小形极精密组件检测显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2013-4-23 10:6:57
线性轴解析度为1nm，对旋转轴为0.00001°，于直线，NC指令实际跟踪速率达±2nm，于分度法为±5/100,000°，
此极佳之伺服追踪能力被称为“全无摩擦之奈米伺服技术(所有线性滑块与螺旋为气静压轴承)”。
此外，系统是密封于空气浴温控单元内，其温度可控制达0.01℃，以去除热成长误差。
加工镜面、过滤器、栅格、液晶显示器板、小透镜、微形模具及其它小形极精密组件，
大部分组件须约5分钟加工，图2a为具高深宽比梯形沟槽之黄铜组件，开放角3°，沟槽间距35mm。
高深宽比之梯形沟槽于半导体加工很普遍，然而侧璧粗糙度及ROBOnano加工沟槽之底部边缘尖锐度远
优于半导体加工使用之其它方法。图2b于双聚焦透镜模具包含35mm宽及可改变V角度之深度连续
曲线V沟槽，此外，三维自由曲度表面，如4×4凸形透镜排列，可利用ROBOnano加工，
材料可为黄铜与矽，透镜间距290mm，直径236mm，高16mm，R 448mｍ
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