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本文标题："柱状微结构的表面轮廓量测可以使用那些仪器"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2013-3-2 22:30:10

柱状微结构的表面轮廓量测可以使用那些仪器

柱状微结构在 40X 物镜下的光学显微镜观察影像，是以差动共焦显微术系统进行扫瞄，

以 632.8 nm 波长的雷射光源，搭配数值孔径 0.65 的 40X 物镜。图六(c)

是沿着(b)图中的虚线所得到的纵向剖面数据分析，可以得到柱状结构的直径与高度。由于

柱状微结构深宽比大，且分佈密度高，一般的探针式表面量测技术，例如探针表面轮廓仪

或原子力显微镜(AFM)、

探针式扫瞄显微镜(SPM)，由于针尖形状与扫瞄机制受限，对于此类型的样品，无法提供準确且不具伤害性的量测结果。

一般若要量测高深宽比或高週期密度的微米尺度元件，都需要采用 SEM，然 SEM 造价高昂且操作不易。而差动式共焦显微

术的微米级动态范围与奈米尺度的纵向解析度，与光学技术的非接触表面量测特性，对于

柱状微结构的表面轮廓量测，提供了新的解决方案

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