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本文标题:"接触式AFM电子显微镜仪器的优点有哪些"

发布者:yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间:2013-1-12 5:20:52

 接触式AFM电子显微镜仪器的优点有哪些

 
扫描探针显微术
(Scanning Probe Microscopy, SPM)
 
✓ 材料制造尺寸已由微米、次微米,逐渐发展至奈米级精密处理,高解析表面分析技术为重要关键技术之一。
 
✓ 扫描探针显微术(SPM)具有原子级表面形状解析度,并可检测多种奈米级表面特性如力学特性、电性、磁性、热性等等。
 
✓ 优点为仪器体积小,样品无需特殊处理,可在任何环境下进行测量。
 
SPM除了极佳的影像解析度外,它对试片表面高度之起伏非常敏感,所以亦常用在侦测表面起伏之剖面形貌、镀层之表面粗糙度……等。
一般说来,试样表面高低差若在10nm以内,则以SEM来检测会因表面太过平滑而看不到影像,此种情况,可选用SPM来作检测。AFM
的操作模式可分为三种:接触式、非接触式及轻敲式(TappingMode)。由于接触式侦测的是探针与样品间原子的排斥力,而排斥力
对距离非常敏感,所以接触式AFM较容易获得原子解析度.而其他两种模式则相当困难

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