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本文标题："微结构体微加工微表面轮廓测量仪器厂家"

发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------ 人浏览过-----时间：2017-6-12 22:16:13

相同几何形状的阵列，用作机械过滤装置。该种微结构是利用LIGA

技术生产的。LIGA技术使用了X射线光刻法、电镀和成型过程(第7

章介绍了该方法)。计算机上完成的结构设计通过电子束写入器被

传递到掩模上。掩模的结构通过平行

LIGA过程的第一步是获得一个微结构体。该结构体具备掩模的

横向结构，高度由抗蚀剂的层厚决定。在后续步骤中，将被照射的

聚合层去除，代之以电镀金属。随后在去除了非照射聚合层后，余

下的就是金属结构模了。以该金属模为模型，通过浇铸或热雕等过

程完成微结构的复制。尽管模型结构的制造成本较高，不过可以采

用多种材料批量生产的方法，从而使微结构体的生产变得非常经济

。

除了上述两种基本方法之外，还有很多方法也采用上述技术的

某些过程。这些方法在特定的应用中有其独特的优势。这里将引用

一个微机械生产的例子。这个微轮廓是在一个金属平面上利用形状

合适的金刚石刀具铣出的。通过加工形状规则的结构和将微加工形

成的薄片正确地叠放，就可以较经济地生成三维微结构体。这个生

产方法与前面提到的两种技术不同。

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