本文标题："电子微探分析仪之原理，实际上与扫瞄电子显微镜完全相同"
发布者：yiyi ------ 分类: 技术文章 ------
人浏览过-----时间：2012-6-21 18:1:50
电子探测光显微分析(Electron Probe X-ray Micro-Analysis, EPMA)技术源1984年,为法国 R.Castaing (巴黎大学 A. Guinier 之学生)首创. 最出他将一具穿透式电子显微镜装在一光学台上,利用TEM 之电子束 打击在试片上而产生X光。X光经由一圆弧形单晶分解成X光光谱，被电子束打击到的区城，可藉一光仪系统来观测．藉此装置系统，可将目视的金相分析与显微化学分析合在一起。以后，再经侦测技术及资讯处理的改进后，演变成今天的电子微探仪 (electron probe micro-analyzer) 。
电子微探分析仪之原理，实际上与扫瞄电子显微镜完全相同。电子束由一金属丝加热产生。经由二至三个磁控聚焦器，焦聚于lOnm至1um直径之试片上，产生回射及二次电子之二次 放射，同时也会产生特性光谱，连续光谱以及长波光子之可见光。经由不同之侦检器分别接收不同之放射信号，藉以分析试片之成分与原子结构。EPMA 除具备SEM 之一切功能外，且可完成显微定性与定量分析。因此，EPMA 兼具显微化学分析及金相显微镜之功能。
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