本文标题："标准量块的尺寸与被测孔尺寸之差-工具显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-7-9 12:57:40
标准量块的尺寸与被测孔尺寸之差-工具显微镜
测量时，先根据被测孔的尺寸选用标准量块。由于能形成白光
干涉的光程差极小，因此标准量块的尺寸与被测孔尺寸之差，必须
在几微米之内。将选用的量块与一对镀银平晶研合，形成标准具。
将标准具与被测工件一起置于工作台的相应位置上。首先将被测孔
移动到使测量用的棱镜深入到被测孔的测量位置。调整干涉仅及工
作台，使两组条纹等距且对称地分布在视场中棱锥脊线影像的两边
，读取两零级条纹顶点之间的刻度格数。退出被测孔，移动工作台
，使棱镜进入标准具的测量位置。调整工作台和安装标准具的小工
作台，使两组白光干涉条纹再次出现在视场中。通过调整工作台，
尽可能使出现的两组条纹相互间的间距相等，相对棱脊的影像尽可
能对称，并与棱脊影像平行。再次读出两条零次条纹间的刻度数，
两组刻度数之差乘以格值即为孔径相对于标准具尺寸之差。误差的
方向不仅决定于干涉条纹的移动方向，而且还决定于棱镜的角度是
大于还是小于90°棱镜角度大于90°的情形，这时测量标准具，若
零级条纹的间距大于测孔时的相应间距，则孔的直径比标准具的尺
寸大。反之，比标准具的尺寸小。
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