本文标题："显微镜测量覆层厚度-光学仪器测量覆层显微镜"
发布者：yiyi ------ 分类: 行业动态 ------
人浏览过-----时间：2016-5-7 21:2:14
显微镜测量覆层厚度-光学仪器测量覆层显微镜
(1)放大倍数在任何给定覆层厚度情况下，测量误差随
镜头放大倍数的减小而增大，通常选择显微镜的放大倍数应使视
场直径是覆层厚度的1.5一3倍，并要求与在整个视场中的放大倩
数一致。在通过光电转换和放大的光学仪器中，放大倍数的稳定是
十分重要的，电子电路不稳定将会产生很大的误差。对此，一般。
疵增加校正次数，而且测量操作应在校正后的短暂时问内进行。
(2)载物台测微器的校正 载物台测微器必须经过检定单
位严格校正，否则将会造成误差。
(3)目镜测微器的校正 目镜测微器应经过严格校正，否
则也会带来误差，且目镜测微器产生误差还与操作人员有关，通
常目镜测微器由测量人员自己进行校正。
(4)间隙校正在调整目镜测微器时，由于测微器传动阃．
隙的存在，测微器正反向旋转读数可能不一样而产生误差，对此．
应以同一方向旋转进行分度对准以减少误差．
(5)分划板十字线的对准 在利用光学仪器测量覆层厚度
时，一般用目镜分划板十字线的一侧和覆县两边界对准，这样可
以减小由于十字线对不准所产生的误差。
(6)目镜位置 目镜每次置于镜筒内位置不同，即置入深“
度变化，则有可能导致放大倍数的变化。若测量和校准仪器目铙
位置不同，显然会导致误差。在双筒目镜情况下，如果两眼瞳孔
(7)记录图纸稳定性 随着环境温度和湿度的变化，记录
图纸会发生变形，记录图形位置也会有所变化，若利用该种匝
纸、图形来确定覆层厚度，也将会带来误差。
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